深圳擴(kuò)維原子科技有限公司自主研發(fā)的原子團(tuán)簇束流技術(shù),通過(guò)“原子產(chǎn)生+氣相凝聚+質(zhì)譜分選”的物理氣相方法,可普適合成多種團(tuán)簇(團(tuán)簇尺寸:?jiǎn)卧觺直徑10 nm; 材料種類包括:氣體、金屬、非金屬、合金、化合物等)。 該技術(shù)不受化學(xué)反應(yīng)路徑能量勢(shì)壘的約束,可實(shí)現(xiàn)元素、原子數(shù)、原子排列結(jié)構(gòu)及束流能量四個(gè)維度的精確調(diào)控。 一方面,可以用原子搭積木,解決新材料合成的“必然性”問(wèn)題; 另一方面,可以用束流微加工,解決半導(dǎo)體制造的“卡脖子”問(wèn)題。
深圳擴(kuò)維原子科技有限公司的核心團(tuán)隊(duì)來(lái)自美國(guó)紐約大學(xué)、英國(guó)伯明翰大學(xué)、英國(guó)Teer Coatings公司,團(tuán)隊(duì)長(zhǎng)期致力于原子團(tuán)簇束流技術(shù)與設(shè)備的研發(fā),在國(guó)際和國(guó)內(nèi)累計(jì)交付設(shè)備超20套,產(chǎn)品線廣泛覆蓋實(shí)驗(yàn)室科研和工業(yè)化量產(chǎn)領(lǐng)域,旗艦產(chǎn)品包括:標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量選擇團(tuán)簇束流設(shè)備、高分辨質(zhì)量選擇團(tuán)簇束流設(shè)備、全尺寸高分辨質(zhì)量選擇團(tuán)簇束流設(shè)備、多元質(zhì)量選擇團(tuán)簇束流設(shè)備等。